?
 
作者:丁佳 来源:中国科学报 发布时间:2019/12/9 11:58:06
选择字号:
场发射枪扫描电子显微镜实现国产化
通过科技部验收

 

日前,国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目在北京通过科技部验收,这标志着这一纳米研究领域的高端科学仪器实现了国产化。

该项目由中国科学院下属企业北京中科科仪股份有限公司承担研制工作。在项目技术综合验收会上,科技部验收专家组现场听取了项目完成情况汇报,观看了项目视频,听取了异地测试情况汇报。与会专家组成员认为项目按期完成了任务书规定的项目目标及各项考核指标,形成两款产品并已陆续交付。专家组对项目完成情况给予高度评价,一致同意通过验收。

该项目突破了高分辨电子光学成像系统设计、场发射枪工程化设计制造、电子束加速镜筒设计制造等多项关键技术,成功开发出具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜,分辨率指标分别达到和优于3nm@1kV和1nm@30kV,达到国际一流水平。

中科科仪董事长兼项目负责人张永明表示,该项目促进了我国电子光学仪器产业的发展,使我国扫描电镜研制水平上了一个台阶,有效解决当前“卡脖子”问题,打破了国外产品的垄断局面。“项目对推动和提高我国前沿科学研究、重大工程和战略型新兴产业高端装备的国产化和自主化水平有着积极意义。”

据了解,场发射枪扫描电子显微镜是纳米科技研究不可缺少的工具,为前沿科技研究提供重要支撑,提升高端科学仪器研制水平,促进精密制造业发展,满足半导体技术、生命科学、环境保护等领域的迫切需求。

 
版权声明:凡本网注明“来源:中国科学报、科学网、科学新闻杂志”的所有作品,网站转载,请在正文上方注明来源和作者,且不得对内容作实质性改动;微信公众号、头条号等新媒体平台,转载请联系授权。邮箱:shouquan@stimes.cn。
 
 打印  发E-mail给: 
    
 
相关新闻 相关论文
?
图片新闻
科学家构建更好抗生素 70亿年后,垂死太阳刮什么风
地震波也能测海温 慧眼卫星发现距离黑洞最近的高速喷流
>>更多
 
一周新闻排行 一周新闻评论排行
 
编辑部推荐博文
 
网站地图 AB亚洲馆官网登入 ab亚洲馆登入 AB亚洲官方直营登入
MG电子游戏注册 申博导航 菲律宾申博网站 申博亚洲网址
太阳城申博正网 600w彩票网平台 大发彩票登录 乐盈彩票网幸运28
AB亚洲馆手机版下载登入 AB亚洲馆游戏登入 AB亚洲馆电子娱乐登入 hg名人馆登入
AB亚洲馆手机登入 hg真人游戏登入 AB亚洲馆电子平台登入 AB亚洲馆返水登入
558jbs.com 4444ib.com 3333ib.com XSB183.COM 1115117.COM
338XTD.COM 777TGP.COM 618XTD.COM 566BBIN.COM 313sunbet.com
S618J.COM 598jbs.com 977XTD.COM 778jbs.com 958PT.COM
144TGP.COM XSB598.COM 1113887.COM 478psb.com 1112938.COM